橡膠材質介紹
※FFKM
無填充全氟化橡膠
透黃全氟化橡膠,利用新的結構體與無填充的特性使產品的特性更加提升,針對半導體特殊的薄膜製程與乾蝕刻製程大大改善了使用壽命與粉塵汙染的問題,耐高溫與低壓縮變形率的機械性質,於CVD、Dry Etching中,針對O2、CF4、NF3等特殊製程氣體均具有優秀的表現。
《可替代杜邦 Kalrez 9100、Kalrez 9300、Kalrez 9500 系列產品》
《可替代 VALQUA ARMOR CRYSTAL》
◎使用溫度範圍:0℃~+280℃
※FFKM
全氟化橡膠 Perfluroroelastomers
全氟化橡膠單體上所有氫原子的位置被氟原子取代。其具有 抗高溫硬化的性能 ,還能適應化學品和溶劑的環境中 。
主要特點在它幾乎不受所有流體影響,包括脂肪類、芳烴類、酯類、醚類、酮類、油類、潤滑類及大部份的酸類。某些鹵化物及強氧化酸可造成材料膨脹的影響。
常使用在抵抗高科技業Plasma電漿製程及化學Pump零件。
◎使用溫度範圍:-10℃~+300℃
※FKM
氟化橡膠 (Viton) Fluorinated Hydrocarbon rubber
FKM(VITON)有很好的抗熱、抗化學品、抗油、抗溶劑等特性。能長時間使用於最高220°C高溫下仍能保持原來橡膠特性,低溫穩定性甚佳,可在-15°C低溫下使用。
產品主要用於半導體設備高真空密封、墊片、膜片、管路、化工產業、汽車產業等。
◎使用溫度範圍:-15℃~+220℃
※VMQ
矽橡膠 (Silicone) Methyl Disiloxane
矽橡膠可耐高溫而不變形。另一方面低溫下仍然保有可用的撓曲度,不致造成其他性質的減弱。
由於矽橡膠在高溫及低溫抗拉強度和壓縮變型率表現佳,所以廣泛應用於電器產品、食品級應用。
◎使用溫度範圍:-55℃~+200℃
※Teflon+Viton
※Teflon+Silcone
鐵氟龍包覆式O-RING
包覆式 O-RING是一種將橡膠的彈性和密封性與Teflon的耐化學性結合起來,它是由一個矽橡膠或氟橡膠置於內部和相對較薄的Teflon FEP或Teflon PFA包覆組合而成,這種橡膠再加上Teflon O-RING 會具有優異的抗化學液體密封性能。
一般橡膠O-RING較易磨損、耐化學腐蝕性和抗氣體滲透性能差(除了全氟彈性體外),純 Teflon O-RING硬度較高能夠抗壓縮但是彈性較差。
包覆式Teflon FEP/Teflon PFA ORING具有良好的抗溶劑漲性和化學穩定性,這些性能使得包覆式 O-RING能夠真正應用於惡劣的環境中。
◎使用溫度範圍:-60℃~+230℃